Научные направления

  • Материаловедение кристаллического кремния: получение и очистка металлургического кремния, процессы роста из расплавов, химического осаждения из газовой фазы, аппаратура для роста.

  • Получение кремния солнечного качества и проблемы солнечной энергетики.

  • Процессы на поверхности, границах раздела и в объеме кремния: дефекты, примесные атомы, гетерограницы.

  • Тонкие пленки в кремниевой микроэлектронике: эпитаксиальные слои, кремний-на-изоляторе, напряженные структуры и low иhigh-k диэлектрик.

  • Физика кремниевых квантово-размерных структур для нано- и оптоэлектроники, фотоники, спинтроники и логических элементов для квантовых вычислений.

  • Технологии микроэлектроники, включая ионную имплантацию, литографию, технологии создания квантовых структур, диагностику.

  • Математическое моделирование технологических процессов и кремниевых компонентов, включая разработку алгоритмов и программного обеспечения.

  • Кремниевая электронная компонентная база микроэлектроники, оптоэлектроники, силовой электроники, светоизлучающих структур, фотоприемников, микромеханики и сенсорики.

  • Кремниевая микроэлектроника в проблематике искусственного интеллекта и нейроподобных систем.